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T_CASAS 048-2025 碳化硅单晶生长用等静压石墨.docx

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    T/CASAS048—2025

    碳化硅单晶生长用等静压石墨

    Iso-staticgraphiteforsiliconcarbidesinglecrystals

    2025-04-23发布2025-04-23实施

    第三代半导体产业技术创新战略联盟发布

    I

    T/CASAS048—2025

    目次

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