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传感器与检测技术第三章力的测量及力传感器

03压电式传感器

压电式传感器以电介质的压电效应为基础，外力作用下在电介质表面产生电荷，从而实现非电量测量,是一种典型的发电型传感器.压电式传感器可以对各种动态力、机械冲击和振动进行测量，在声学、医学、力学、导航方面都得到广泛的应用。一压电式传感器

压电陶瓷位移器压电陶瓷超声换能器压电秤重浮游计压电加速度计压电警号一压电式传感器

某些电介质（晶体）当沿着一定方向施加力变形时，内部产生极化现象，同时在它表面会产生符号相反的电荷；当外力去掉后，又重新恢复不带电状态；当作用力方向改变后，电荷的极性也随之改变；这种现象称压电效应。二压电效应

二压电效应?压电效应是可逆的在介质极化的方向施加电场时，电介质会产生形变，将电能转化成机械能，这种现象称“逆压电效应”。压电元件可以将机械能电能也可以将电能机械能逆压电效应电能机械能正压电效应

石英晶体特征天然、人工两种都属于单晶体；化学式为——SiO2；外形无论再小都呈六面体；沿各个方向的特征不同；沿X（电轴）作用产生电荷称纵向压电效应沿Y（机械轴）……………横向压电效应沿Z（光轴）不产生压电效应。自然界许多晶体具有压电效应，但十分微弱，研究发现石英晶体、钛酸钡、锆钛酸铅是优能的压电材料。压电材料可以分为两类：压电晶体、压电陶瓷。????三石英晶体的压电效应石英晶体外形结构

三石英晶体的压电效应压电晶片人工合成水晶

三压电陶瓷压电效应1.弹性元件的特性压电陶瓷具有很高的压电系数，在压电式传感器中得到广泛应用。人工制造的多晶体，压电机理与压电晶体不同。压电陶瓷是人工制造的多晶体压电材料，材料的内部晶粒有许多自发极化的电畴，它有一定的极化方向。无电场作用时，电畴在晶体中分布杂乱分布，极化相互抵消，呈中性。

三压电陶瓷压电效应1.弹性元件的特性施加外电场时，电畴的极化方向发生转动，趋向外电场方向排列。外电场强度达到饱和程度时，所有的电畴与外电场一致。外电场去掉后，电畴极化方向基本不变，剩余极化强度很大。所以，压电陶瓷极化后才具有压电特性，未极化时是非压电体。

1.钛酸钡（BaTiO3）压电陶瓷具有较高的压电系数和介电常数，机械强度不如石英。常见压电陶瓷2.锆钛酸铅Pb（Zr·Ti）O3系压电陶瓷（PZT）与钛酸钡相比压电系数更大，各项机电参数随温度、时间等外界条件的变化小，在锆钛酸铅的基方中添加一两种微量元素，可以获得不同性能的PZT材料。3.铌镁酸铅Pb(MgNb)O3-PbTiO3-PbZrO3压电陶瓷（PMN）具有较高的压电系数，在压力大至700MPa仍能继续工作，可作为高温下的力传感器。三压电陶瓷压电效应

四压电式传感器的测量电路1.弹性元件的特性在实际应用中为提高灵敏度使表面有足够的电荷，常常把两片、四片压电元件组成在一起使用。由于压电材料有极性，因此存在连接方法，双片连接时：（一）压电式传感器的串联与并联按+--+连接时电路并联电荷增加一倍适用于电荷放大器(a)并联++－－－+按+-+-连接时电路串联电压增加一倍适用于电压放大器(b)串联+－－+

压电晶体承受被测机械力的作用时，在它的两个极板上出现极性相反但电量相等的电荷，故可把压电传感器看作一个电容为Ca的电容器。四压电式传感器的测量电路（二）压电传感器等效电路两极板间的电压为：等效电容为：压电元件电荷Q的开路电压U可等效为：电压源U与电容Ca串联；电荷源Q和电容Ca并联。

压电元件内阻很高，为了使压电元件能正常工作，它的负载电阻（前置放大电路的输入阻抗）有极高的值。前置电路有两个作用：一是放大微弱的信号、二是阻抗变换，把传感器的高阻抗输出变换为低阻抗输出。根据等效电路压电元件输出可以是电压源也可以是电荷源。因此，前置放大器也有两种形式：电压放大器、电荷放大器。四压电式传感器的测量电路

Ca：传感器的电容Ra：传感器的漏电阻Cc：连接电缆的等效电容Ri：放大器的输入电阻Ci：放大器的输入电容（1）电压放大器四压电式传感器的测量电路（三）压电传感器测量电路

（1）基本特性当作用力是静态力（ω=0）时，前置放大器的输入电压为零。所以压电式传感器不能测量静态物理量。因此为了扩大传感器的低频响应范围，就必须尽量提高回路的时间常数。压电式传感器突出优点：高频响应相当好压电式传感器在与电压放大器配合使用时，连接电缆不能太长。电缆长，电缆电容Cc就大，电缆电容增大必然使传感器的电压灵敏度降低。电压放大器与电荷放大器相比，电路简单，元件少，价格便宜，工作可靠，但是电缆长度对传感器测量精度的影响较大，在一定程度上限制了压电式传感器在某些场合的应用。四压电式传感器的测量