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主动隔振技术的研究现状文献综述

目前超精密加工和超精密测量技术快速发展，对隔振效果的要求越来越高，隔振技术也日益发展成熟。国内外已有许多隔振技术的研究成果，尤其是对主动隔振技术的研究，自1955年美国科学家提出有源隔振技术的报告到现在，已有突破性的进展，并且广泛应用于航空航天、船舶、机械工程以及车辆工程等领域。

在航空航天领域，柔性航天器要求的精密性较高，传统的被动隔振难以满足要求，必须采用主动隔振。Hong-JenChen[4]和G.S.Huage[5]分别在UQP平台和Stewart平台上进行了主动隔振控制的各种研究。1997年，马扣根、顾仲权先后研