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半导体气体传感器概述
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TOC\o1-3\h\u17359半导体气体传感器概述 1
117951.1半导体气体传感器的分类 1
296011.2半导体气体传感器的敏感机理 2
48221.3半导体气体传感器研究现状 3
1.1半导体气体传感器的分类
气体传感器经过几十年的研究和发展,虽然种类非常多,应用范围非常广,但至今没有完全统一的分类标准。目前,半导体气体传感器应用范围是最广的,主要应用于家庭和工厂的可燃性气体检测中[70]。半导体气体传感器主要分为电阻式和非电阻式。其中,电阻式气体传感器的原理是气体分子与敏感材料反应,捕获自由电子导致电导率的
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