薄膜制备的真空技术基础.pptVIP

介绍第二种薄膜材料：DLC膜DLC膜是一种含有大量sp3的亚稳态非晶碳薄膜,碳原子间主要以sp3和sp2杂化结合,sp含量较少。DLC的结构可以看成是由sp2(石墨)和sp3(金刚石)杂化的碳原子高度交联的网状结构和孤立的团簇所组成,因而DLC膜的结构和性能介于金刚石和石墨之间。受沉积环境和沉积方式的影响,DLC膜中还可能含氢等杂质,形成各种C-H键。根据薄膜中碳原子的键合方式(C-H,C-C,C=C)及各种键合方式比例的不同,DLC膜可分为含氢DLC(hydrogenatedamorphouscarbon(a-C∶H))膜和无氢DLC(amorphouscarbon(a-C))膜两大类。第30页，共43页，星期日，2025年，2月5日第31页，共43页，星期日，2025年，2月5日第1页，共43页，星期日，2025年，2月5日1.真空的定义：真空泛指压力低于一个大气压的任何气态空间。1.1真空的基本知识2.真空度的单位真空度实质上与气体压力是同一物理概念。真空度越高，即气体压力越小；反之真空度越低，即气体压力越大。真空度的上限就是一个标准大气压，即760毫米汞柱。第2页，共43页，星期日，2025年，2月5日1.1真空的基本知识---大气压(atm):标准的大气压力定义为1atm---帕(Pa):N/m2(常用单位：Pa)---巴(Bar):Dy/cm2,(常用单位：mBar)---乇(Torr):1/760atm,(常用单位：Torr)第3页，共43页，星期日，2025年，2月5日1.2气体分子运动论的基本概念1、气体分子的平均运动速度Va温度越高、气体分子的相对原子质量越小，则分子的平均运动速度越大。（1）2、气体的压力（2）第4页，共43页，星期日，2025年，2月5日3、碰撞频率Ф（气体分子通量）：在单位时间,单位面积表面受到气体分子碰撞的次数。1.2气体分子运动论的基本概念（3）将式（1）和（2）代入上式，可以求出气体分子的通量：第5页，共43页，星期日，2025年，2月5日1.2气体分子运动论的基本概念4、分子平均自由程λ：气体分子在两次碰撞的间隔时间里走过的平均距离。式中d为气体分子的有效截面直径。气体分子的平均自由程与气体分子的密度n成反比。5、真空度的划分低真空：102Pa中真空：102～10-1Pa高真空：10-1～10-5Pa超高真空：10-5Pa第6页，共43页，星期日，2025年，2月5日1.3气体的流动状态和真空抽速1、气体的流动状态在高真空环境中，气体分子除了与容器器壁发生碰撞以外，几乎不发生气体分子间的碰撞过程。这种气体的流动状态被称为气体的分子流状态。分子流的特点是气体分子的平均自由程大于气体容器的尺寸或与其相当。当气体压力较高时，气体分子的平均自由程较短，气体分子间的相互碰撞较为频繁，这种气体的流动状态称为气体的黏滞流状态。第7页，共43页，星期日，2025年，2月5日1.3气体的流动状态和真空抽速上述两种气体流动状态间的界线可以借助一个无量纲的参数－－克努森（Knudsen）准数Kn来划分，定义为：Kn1分子流状态Kn=1~110中间状态Kn110粘滞流状态第8页，共43页，星期日，2025年，2月5日1.3气体的流动状态和真空抽速黏滞流状态的气体流动模式复杂，在低流速的情况下，黏滞流状态的气流处于层流状态；在流速较高时，气体的流动状态转变为紊流状态。所谓层流状态，相当于气体分子的宏观运动方向与一组相互平行的流线相一致。在流速较高的情况下，气体的流动不再能够维持相互平行的层流模式，而会转变为一种漩涡式的流动模式。这时，气流中不断出现一些低气压的漩涡，这种气体的流动状态成为紊流状态。如下图所示。第9页，共43页，星期日，2025年，2月5日1.3气体的流动状态和真空抽速图1.3黏滞态气流的两种流动状态（a)－层流；（b)－紊流第10页，共43页，星期日，2025年，2月5日1.3气体的流动状态和真空抽速雷诺（Reynolds）准数Re是帮助判断气体流动状态的另一无量纲参数，定义为：雷诺准数与气体流动状态之间的关系为：Re2200紊流状态2200Re1200紊流和层流态Re1200层流状态第11页，共43页，星期日，2025年，2月5日1.3