光电效应赋能下的电化学纳米压印与光刻蚀技术的创新探索.docx

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2025-08-20 发布于上海
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光电效应赋能下的电化学纳米压印与光刻蚀技术的创新探索

一、引言

1.1研究背景与意义

在当今科技飞速发展的时代，微纳米加工技术已成为众多领域实现创新突破的关键支撑，其重要性不言而喻。从微电子领域中不断追求更小尺寸、更高性能的芯片，到生物医学领域对微观结构和器件的精准制造需求，微纳米加工技术都发挥着不可或缺的作用。在半导体制造中，它直接决定了芯片的集成度和运行速度；在生物传感器的制备中，它关乎传感器的灵敏度和检测精度。随着科技的不断进步，对微纳米加工技术的精度、效率和成本等方面提出了更为严苛的要求。传统的微纳米加工技术，如电子束光刻、离子束刻蚀等，虽然在一定程度上能够满足部分高精度加工需求，但