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半导体设备国产化关键技术突破与产业生态构建研究模板范文
一、半导体设备国产化背景及意义
1.1保障国家安全
1.2降低产业成本
1.3推动产业升级
1.4培育创新人才
二、半导体设备国产化关键技术突破
2.1关键设备技术突破
2.1.1光刻机技术
2.1.2刻蚀机技术
2.1.3离子注入机技术
2.2关键材料技术突破
2.2.1光刻胶材料
2.2.2刻蚀气体材料
2.2.3掺杂剂材料
2.3关键工艺技术突破
2.3.1芯片制造工艺
2.3.2封装测试工艺
2.3.3半导体设备维修与维护技术
2.4产业生态构建
2.4.1政策支持
2.4.2产业链协同
2.
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