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无约束振动处理：多晶铜薄膜疲劳损伤修复的创新探索

一、引言

1.1研究背景与意义

随着现代科技的飞速发展，微电子机械系统（MEMS）、大规模集成电路等领域取得了显著的进步，这些领域对于材料性能的要求也日益严苛。多晶铜薄膜作为一种关键材料，凭借其优良的电学、热学以及力学性能，在上述领域中得到了极为广泛的应用。在MEMS器件里，多晶铜薄膜常被用于制造微传感器、微执行器以及微电路互连等关键部件，其性能的优劣直接关乎MEMS器件的整体性能和可靠性。在大规模集成电路中，多晶铜薄膜作为互连材料，对于电子信号的传输速度和稳定性起着决定性作用。

然而，在实际服役过程中，多晶铜薄膜不可避免地会承受各种循环载荷的作用，这极易导致其产生疲劳损伤。疲劳损伤的出现会使多晶铜薄膜的性能逐渐劣化，具体表现为力学性能下降，如强度和韧性降低，这可能导致部件在承受较小外力时就发生断裂；电学性能也会受到影响，例如电阻增大，进而影响电子信号的传输质量。更为严重的是，疲劳损伤会极大地降低器件的可靠性和使用寿命，甚至引发灾难性的后果。据统计，在机械零件的断裂事故中，超过80%是由金属疲劳引起的，这不仅造成了巨大的经济损失，还对人们的生命安全构成了严重威胁。

在过去，针对金属材料疲劳损伤的修复，人们已经开展了大量的研究工作，并提出了多种修复方法。其中，振动时效技术是一种较为常用的方法，其基本原理是通过对应力工件施加循环载荷，促使工件内应力释放，从而降低工件残余应力，使工件尺寸趋于稳定，达到时效的目的。该技术能够在一定程度上愈合金属构件的疲劳损伤，延长其疲劳寿命，并且具有生产周期短、处理地点灵活、耗能少、无环境污染等诸多优点，因而具有较高的实用价值和工程意义。还有激光冲击技术，利用短脉冲高峰值功率密度的激光辐射金属表面，使金属表面吸收层吸收激光能量发生爆炸性汽化蒸发，产生高压等离子体，在约束层的约束下爆炸产生高压冲击波，作用于金属表面并向内部传播，在材料表层形成致密、稳定的位错结构，使材料表层产生应变硬化，显著提高材料的抗应力腐蚀和抗疲劳等性能。

无约束振动处理修复多晶铜薄膜疲劳损伤是一种新兴的方法，与传统的振动时效等方法相比，它具有独特的优势。无约束振动处理无需对试件进行复杂的固定和约束，操作更为简便灵活，可以更自由地调整振动参数，以适应不同的疲劳损伤情况。这种方法能够更有效地修复多晶铜薄膜的疲劳损伤，改善其微观组织结构，从而显著提高多晶铜薄膜的疲劳寿命。研究无约束振动处理下多晶铜薄膜疲劳损伤修复方法，对于提高多晶铜薄膜在MEMS等领域的使用性能和可靠性具有重要的理论意义和实际应用价值。它不仅有助于推动相关领域的技术进步，还能为解决实际工程中的材料疲劳问题提供新的思路和方法，具有广阔的应用前景。

1.2国内外研究现状

在多晶铜薄膜疲劳损伤方面，国内外学者已进行了诸多研究。在微观机制探究上成果颇丰，有学者借助扫描电镜及其电子通道衬度技术（SEM-ECC）深入观察多晶铜在不同塑性应变幅下的表面滑移形貌、疲劳裂纹及位错组态，发现多晶铜在低周疲劳时，随着塑性应变幅的增加，试样饱和前吸收的累积滞回能会减少；而晶粒尺寸越小，试样饱和时吸收的累积滞回能则越大，并且疲劳裂纹首先沿普通大角晶界开裂，在孪晶界处较难产生。也有研究聚焦于晶粒尺寸和循环周次对多晶铜疲劳与拉伸性能的影响，通过不同温度退火获取不同晶粒尺寸的试样，经应变疲劳试验后再进行拉伸试验，并结合扫描电镜观察表面变形形貌与断口形貌，揭示出冷轧铜板和退火铜板在循环周次增加时，其屈服应力、强度极限、延伸率和静力韧度等性能指标的变化规律。

针对多晶铜薄膜疲劳损伤的修复方法，目前主要有振动时效、激光冲击等技术。振动时效技术通过对应力工件施加循环载荷，促使工件内应力释放，以降低残余应力、稳定尺寸并达到时效目的，进而愈合金属构件的疲劳损伤，延长其疲劳寿命，具有生产周期短、处理地点灵活、耗能少、无污染等优势，在实际工程中得到了一定应用，如在一些大型机械零件的修复中发挥了重要作用。激光冲击技术则是利用短脉冲高峰值功率密度的激光辐射金属表面，使金属表面吸收层吸收激光能量后发生爆炸性汽化蒸发，产生高压等离子体，在约束层约束下爆炸产生高压冲击波，作用于金属表面并向内部传播，在材料表层形成致密、稳定的位错结构，显著提高材料的抗应力腐蚀和抗疲劳等性能。有研究针对25μm厚纯铜薄膜，采用准分子激光器进行激光表面损伤愈合处理，查明了能量密度、脉冲个数对激光表面损伤愈合处理效果的影响，发现当试件的疲劳损伤程度较小时，激光处理后试件疲劳强度有所提高，在损伤值小于0.7情况下，损伤愈合较为明显，且与试件中已存在的损伤程度无关，但当疲劳损伤值大于0.8时，疲劳裂纹无法愈合。还有通过搭建激光冲击愈合装置，对存在疲劳损伤