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2025年3nmGAAFET工艺研发进展：技术创新与产业生态构建.docx

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    2025年3nmGAAFET工艺研发进展：技术创新与产业生态构建

    一、2025年3nmGAAFET工艺研发进展概述

    1.技术创新

    1.1晶体管结构优化

    1.1.1晶体管结构优化

    1.1.2光刻技术突破

    1.1.3材料创新

    1.2产业生态构建

    1.2.1产业链协同发展

    1.2.2人才培养与引进

    1.2.3政策支持

    二、晶体管结构优化与性能提升

    2.1晶体管结构优化

    2.1.1多栅极技术的应用

    2.1.2沟道结构创新

    2.1.3源极和漏极设计

    2.2性能提升

    2.2.1开关速度

    2.2.2功耗降低

    2.2.3集成度提高

    2.3实际应用中的挑战

    2.3.1制造

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