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战线J-~i；舌币2003．1
微机器人技7fc
蕊虽精密加工l【】硇应用研究
朱涛，谈大龙
(中国科学院沈阳自动化研究所，辽宁沈阳110016)
摘要：文中阐述了超精密加工技术的发展现状及实现方法。通过介绍微机器人技术在超精密加工中的具体应
用．论证了微机器人技术在超精密加工及精密工程中的应用价值。
关键词：超精密加工；精密工程；微机器人；微工厂
中图分类号：TP242文献标识码：A文章编号：1002-2333(2003)01-0003—03
TheResearchofApplicationsofMicroRobotsforUltraprecisionMachining
ZHUTao，TANDa-long
(ShenyangInstituteofAutomation，ChineseAcademyofSciences，Shenyang110016，China)
Abstract：TheDaperdescribedthestateofartofahraprecisionmachininganditsfabricationmethods．Byanalyzingthe
detailsofapplyingmicrorobotsforuhraprecisionmachining，thepracticevalueofroboticsofruhraprecision
machiningandprecisionengineeringisdiscussed．
Keywords：uhraprecisionmachining；precisionengineering；microrobots；microfactory
1引言精密磨削、研磨和抛光；超精密微细加工(电子束、离子
随着产品质量要求的不断提高，以精密加工、超精束、激光束加工以及硅微器件的加工、LIGA技术等)。
密加工、微细加工和纳米加工等为代表的精密工程越日本的一些学者提出了利用微机器人进行超精密
来越引起人们的关注。通常我们把被加工零件的尺寸加工的概念，这一概念突破传统加工观念，设计出可以
精度和形位精度达到零点几微米，表面粗糙度低于百自由移动的微小机器人，让机器人群在工件上爬，可实
分之几微米的加工技术称为超精密加工技术。现纳米级超精密加工。
超精密加工技术在国防工业、信息产业和民用产机构的小型化可以节约资源和能源，并且由于零
品中都有着广泛的应用前景。在国防工业中，导弹陀螺件尺寸的减小，从而提高了单位体积和重量的功能的
仪的质量直接影响其命中率，1kg的陀螺转子，其质心集成度。小型化也开辟了许多新的应用领域，比如在工
偏离对称轴0．0005nl，就会引起100nl的射程误差和业上的遥操作或细胞生物领域的应用。源于微电子技
50m的轨道误差。在宇航技术中，卫星的姿态轴承为真术的硅微加工工艺对于机构的小型化有着重大影响，
空无润滑轴承，其孔和外圆的圆度及圆柱度均为纳米它在同一个零件上集成了机械和电子功能，非常适合
级。卫星用的光学望远镜、电视摄像系统、红外传感器于加工MEMS系统。
等，其光学系统中的高精度非球面透镜等都必须经过3基于微机器人的超精密加工技术
超精密车、磨、研、抛等超精密加工。此外，大型天体望目前，微机器人在超精密加工领域中的应用主要
远镜的透镜、红外线探测器反射镜，激光核聚变用
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