我国金刚石滚轮首次出口.pdfVIP

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  • 2025-09-01 发布于山东
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(主要是定位精度)高,则加工精度好;曝光光源波长小,

则精度也高。腐蚀液的质量分数小,腐蚀加工精度高;腐

蚀液的循环能力越强,精度就越好。

影响光化学蚀刻效率的因素主要有:曝光光源、腐蚀

液及其循环。曝光光源的强度越大,曝光时间就短,效率

越高;腐蚀液的质量分数越高、温度越高、循环性能越好,

则光化学蚀刻的效率就越高。

光化学蚀刻的成本与生产的批量大小有关,因为光

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