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碳化硅材料制备技术进展与应用前景

目录

一、文档概述．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．3

二、碳化硅材料的制备技术．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．4

2.1传统制备方法．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．7

2.1.1气相沉积法．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．11

2.1.2液相沉积法．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．12

2.1.3固相烧结法．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．16

2.2先进制备技术．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．21

2.2.1微晶/非晶碳化硅制备．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．23

2.2.2纳米结构碳化硅制备．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．24

2.2.3复相/复合材料制备．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．29

三、碳化硅材料的性能表征与分析．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．