《硅片生产工艺及控制》课件——第6章 硅片检测与包装.pptxVIP

第6章硅片检测与包装

目录1.检测基本知识2.包装与运输

检测基本知识Part1

1.检测基本知识硅片检验是硅片生产加工中不可缺少的部分，检验的形式有自检、互检和专检，可以现场抽样检验，也可以集中检验。总之，硅片检验贯穿于整个工艺过程。硅片质量特性参数主要包括电学参数、结晶学参数、几何参数和表面洁净度参数。本章将以这些质量特性为参数中心，系统地介绍一些相关的检验标准，其中以国标为主，将以硅片质量特性为主线，以产品标准与检验方法标准为依据，结合生产实际，对硅片质量待性参数的检验方法原理、检验步骤、检验数据处理、检验判定、检验仪器设备以及硅片的包装运输等进行比较全面的讨论。

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