基于单晶硅薄膜的柔性晶体管及射频电路研究.pdf

1、原创力文档（book118）网站文档一经付费（服务费），不意味着购买了该文档的版权，仅供个人/单位学习、研究之用，不得用于商业用途，未经授权，严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等，侵权必究。。
2、本站所有内容均由合作方或网友上传，本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺！文档内容仅供研究参考，付费前请自行鉴别。如您付费，意味着您自己接受本站规则且自行承担风险，本站不退款、不进行额外附加服务；查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档，您可以点击这里二次下载。
3、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等，请点击“版权申诉”（推荐），也可以打举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。

摘要

柔性电子具有重量轻、机械性能良好、可穿戴等优点，近年来被广泛关注。

柔性薄膜晶体管(Thin-FilmTransistor,TFT)作为柔性集成电路的基础单元，其性

能对柔性电子应用产生直接影响。常见的基于非晶、有机半导体材料的柔性薄膜

晶体管，其载流子迁移率相对较低，难以满足柔性无线通讯对于柔性薄膜晶体管

以及柔性射频电路的需求。基于单晶硅薄膜的柔性晶体管具有较高的载流子迁移

率，加工工艺与目前商用主流半导体工艺兼容性好，对柔性射频电路的设计与性

能提升具有重要意义。然而，目前基于单晶硅薄

本账号发布文档部分来源于互联网，仅用于技术分享交流用，版权为原作者所有。 2，文档内容部分来自网络意见，与本账号立场无关。

咨询Ta 进入空间

更多 >