碳碳复合材料应用单晶炉热场.pptxVIP

培训对象：硅单晶制取工

培训讲师：詹文平

硅单晶分厂

内容

01热场结构

热场的结构示意图；各部件介绍

02热场的安装和煅烧

热场的安装；热场水平与中心调整；热场的煅烧

03热场的温度梯度

l热场的概念；温度梯度的概念；

l静态热场的温度分布；动平衡态热场的分布

l晶体生长的温度梯度：径向温度梯度与纵向温度梯度

一、热场结构

热场的优劣对单晶硅的质热场有大有小，它是按照

量有很大影响。合适的热所用的石英坩埚的直径大

场，能够生长出高质量的小来划分的，目前国内热

单晶。不好的热场容易使

场从￠12″～￠28″都有，

单晶变成多晶，或者根本

但以￠18″～￠22″居多。

无法引晶。有的热场虽然

能够生长单晶，但质量较

差，有位错和其它结构缺

陷。因此，找到较好的热

场条件，配置最佳的热场，

是非常重要的直拉单晶工

艺技术。

一、热场结构

直拉单晶炉的热系统，也热场一般包括压环、保温

就是所谓的热场，是指为盖、上中下保温罩、石墨

了熔化硅料，并使单晶生坩埚(三瓣埚)、坩埚托杆、

长保持在一定温度下进行坩埚托盘、电极、加热器、

的整个系统。导流筒、石墨螺栓，且为

了防止漏硅，炉底、金属

电极、托杆、都设置了保

护板、保护套。

热

场

示

意

图

l加热器是热场中很重要的部件，

是直接的发热体，温度最高的时

候可以达到1600℃以上。

l常见的加热器有三种形状，筒状、

杯状、螺旋状。目前绝大多数加

热器为筒状，硅单晶分厂CZ1#