微机电系统压电微悬臂梁的测量方法示例.pdfVIP

GB/TXXXX202X/IEC62047-42:2022

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附录A

（资料性）

压电微悬臂梁的测量方法示例

A.1概述

附录为测量压电微悬臂梁压电薄膜的正逆横向压电系数示例。至总结了试件制备程序、极

A/A.2A.4

化处理条件、用于计算横向压电系数的材料属性、测量步骤和测量结果。

A.2测量步骤

A.2.1压电微悬臂梁的结构

MEMSA.1

通过微加工工艺制备压电微悬臂梁，用于测量的压电微悬臂结构示意图和照片如图所示。

上面的三个微悬臂梁分别有三个独立的驱动或感应顶电极，可测量正横向压电效应；下面三个微悬臂梁

则用于测量逆横向压电效应。

图A.1压电微悬臂梁的结构示意图和照片

A.2.2微加工工艺

压电微悬臂梁的微加工工艺如图所示。

A.2

9

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图A.2压电微悬臂梁的加工工艺示意图

A.2.3压电和非压电层的机械性能

正横向压电系数与逆横向压电系数由各层材料的机械性能计算而得。压电层与非压电层的厚度e

31,f

及弹性性能分别列于表与表中。

A.1A.2

表A.1压电层的机械性能

性能分类机械性能

材料多晶Pb（ZrTi）O

0.520.483

厚度3m

μ

E-122[6]

弹性柔顺系数13.810m/N

S11×

E