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蚀刻速率的影响因素及操作【共17张PPT】.ppt

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    蚀刻速率的影响因素及操作优选蚀刻速率的影响因素及操作影响蚀刻速率的因素比重蚀刻温度ORP数值游离盐酸的量速度（影响蚀刻时间，与速率无关。）药水喷压蚀刻原理蚀刻反应原理：Cu2++Cu=2Cu+蚀刻药水还原：H2O2+Cu++2HCl=H2O+Cu2++2Cl-蚀刻槽内的反应方程式：H2O2+Cu+HCl=CuCl2+H2O速度（影响蚀刻时间，与速率无关。28)to34?Be(1.增大游离算的浓度可以增大蚀刻值，但也会增大侧蚀值；产品生产过程中，保持产线的ORP大于580mv，可以保持蚀刻的最大蚀刻速率。不同浓度的游离酸

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