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磁控溅射仿真技术对铝薄膜微观组织和性能的影响
目录
磁控溅射仿真技术对铝薄膜微观组织和性能的影响（1）．．．．．．．．．．4
一、内容概述．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．4
1.1磁控溅射技术概述．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．5
1.2铝薄膜应用领域及需求．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．6
1.3研究目的与意义．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．10
二、磁控溅射技术原理及仿真方法．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．12
2.1磁控溅射技术基本原理．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．14
2.2仿真模型建立．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．16
2.3仿真软件及工具介绍．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．19
三、铝薄膜制备与表征．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．23
3.1实验材料及设备．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．24
3.2铝薄膜制备工艺流程．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．28
3.3铝薄膜性能表征方法．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．30
四、磁控溅射仿真技术对铝薄膜微观组织的影响．．．．．．．．．．．．．．．．31
4.1仿真参数设置．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．33
4.2微观组织形貌分析．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．34
4.3晶体结构及取向分析．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．37
五、磁控溅射仿真技术对铝薄膜性能的影响．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．40
5.1力学性能分析．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．43
5.2电学性能研究．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．44
5.3耐腐蚀性能探讨．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．47
六、实验结果分析与讨论．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．49
6.1实验结果概述．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．51
6.2实验结果分析．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．53
6.3结果讨论与对比．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．54
七、结论与展望．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．56
7.1研究结论．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．59
7.2研究创新点．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．60
7.3展望未来研究方向与应用前景．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．61
磁控溅射仿真技术对铝薄膜微观组织和性能的影响（2）．．．．．．．．．64
内容概览．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．64
1.1研究背景与意义．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．65
1.2国内外研究现状．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．67
1.3研究目标与内容．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．70
1.4主要研究方法与技术路线．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．72
磁控溅射沉积原理及相关技术．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．74
2.1磁控溅射的基本概念．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．76
2.2磁控溅射的物理机制分析．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．77
2.3关键沉积参数及其调控作用．．．．．．．．．．
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