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气体测试微型传感器关键技术及精度优化研究.docx

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    气体测试微型传感器关键技术及精度优化研究

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    TOC\o1-3\h\z\u一、气体测试微型传感器技术概述 3

    1、微型传感器技术发展历程 3

    气体传感器微型化技术演进 3

    微机电系统技术在气体传感器中的应用 4

    2、微型气体传感器分类及特点 5

    电化学式微型气体传感器原理与特性 5

    光学式微型气体传感器工作原理及优势 6

    二、关键技术研究 8

    1、敏感材料开发与优化 8

    金属氧化物半导体材料性能研究 8

    碳纳米管及石墨烯基敏感材料开发 8

    2、微纳加工与制造工艺 10

    微加工技术在传感器制造中的应用 10

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