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CN120206312A 一种碳化硅晶圆衬底的加工工艺 （东莞励治研磨科技有限公司）.pdfVIP

CN120206312A 一种碳化硅晶圆衬底的加工工艺 （东莞励治研磨科技有限公司）.pdf

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    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN120206312A

    (43)申请公布日2025.06.27

    (21)申请号202510591036.XB24B55/02(2006.01)

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