压电式传感器 (2)2.pptVIP

式中：A——压电片的面积；d——压电片的厚度；εr——压电材料的相对介电常数。因此，压电传感器可以等效为一个与电容相串联的电压源。如图6-7（a）所示，电容器上的电压Ua、电荷量q和电容量Ca三者关系为压电传感器也可以等效为一个电荷源。如图6-7（b）所示。**第30页，共56页，星期日，2025年，2月5日图6-7压电元件的等效电路（a）电压源;（b）电荷源**第31页，共56页，星期日，2025年，2月5日压电传感器在实际使用时总要与测量仪器或测量电路相连接，因此还需考虑连接电缆的等效电容Cc，放大器的输入电阻Ri,输入电容Ci以及压电传感器的泄漏电阻Ra。这样，压电传感器在测量系统中的实际等效电路，如图6-8所示。**第32页，共56页，星期日，2025年，2月5日图6-8压电传感器的实际等效电路（a）电压源;（b）电荷源**第33页，共56页，星期日，2025年，2月5日6.2.2压电式传感器的测量电路压电传感器本身的内阻抗很高，而输出能量较小，因此它的测量电路通常需要接入一个高输入阻抗前置放大器。其作用为：一是把它的高输出阻抗变换为低输出阻抗；二是放大传感器输出的微弱信号。压电传感器的输出可以是电压信号，也可以是电荷信号，因此前置放大器也有两种形式：电压放大器和电荷放大器。**第34页，共56页，星期日，2025年，2月5日1.电压放大器（阻抗变换器）图6-9（a）、(b）是电压放大器电路原理图及其等效电路。在图6-9（b）中，电阻R=RaRi/(Ra+Ri)，电容C=Cc+Ci，而ua=q/Ca，若压电元件受正弦力f=Fmsinωt的作用，则其电压为（6-6）式中：Um——压电元件输出电压幅值，Um=dFm/Ca；d——压电系数。**第35页，共56页，星期日，2025年，2月5日图6-9电压放大器电路原理及其等效电路图（a）放大器电路;（b）等效电路**第36页，共56页，星期日，2025年，2月5日由此可得放大器输入端电压Ui，其复数形式为.(6-7)Ui的幅值Uim为.(6-8)输入电压和作用力之间相位差为(6-9)**第37页，共56页，星期日，2025年，2月5日在理想情况下，传感器的Ra电阻值与前置放大器输入电阻Ri都为无限大，即ω(Ca+Cc+Ci)R1，那么由式（6-8）可知，理想情况下输入电压幅值Uim为(6-10)式（6-10）表明前置放大器输入电压Uim与频率无关，一般在ω/ω03时，就可以认为Uim与ω无关，ω0表示测量电路时间常数之倒数，即**第38页，共56页，星期日，2025年，2月5日这表明压电传感器有很好的高频响应，但是，当作用于压电元件的力为静态力（ω=0）时，前置放大器的输出电压等于零，因为电荷会通过放大器输入电阻和传感器本身漏电阻漏掉，所以压电传感器不能用于静态力的测量。当ω(Ca+Cc+Ci)R1时，放大器输入电压Uim如式（6-10）所示，式中Cc为连接电缆电容，当电缆长度改变时，Cc也将改变，因而Uim也随之变化。因此，压电传感器与前置放大器之间连接电缆不能随意更换，否则将引入测量误差。**第39页，共56页，星期日，2025年，2月5日根据电压灵敏度Km的定义，当ω(Ca+Cc+Ci)R1时，传感器电压灵敏度Ku表达式如下：**第40页，共56页，星期日，2025年，2月5日第6章压电式传感器压电式传感器**第1页，共56页，星期日，2025年，2月5日6.1压电效应及压电材料某些电介质，当沿着一定方向对其施力而使它变形时，内部就产生极化现象，同时在它的两个表面上便产生符号相反的电荷，当外力去掉后，又重新恢复到不带电状态。这种现象称压电效应。当作用力方向改变时，电荷的极性也随之改变。有时人们把这种机械能转换为电能的现象，称为“正压电效应”。相反，当在电介质极化方向施加电场，这些电介质也会产生几何变形，这种现象称为“逆压电效应”（电致伸缩效应）。具有压电效应的材料称为压电材料，压电材料能实现机—电能量的相互转换，如图6-1所示。?**第2页，共56页，星期日，2025年，2月5日压电材料可实现机－电能量的相互转换.如图示可逆性：图6-1