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基于刚柔耦合模型的掩模台结构动态响应分析与优化.pdf

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    摘要

    掩模台作为光刻机的重要组成部分，其结构动力学特性决定了光刻机曝光

    过程中的稳定性。传统多刚体模型无法体现掩模台在受到振动干扰状态下的部

    分结构柔性变形，这将极大的影响掩模台动力学特性研究的准确性。同时，对

    于掩模台的结构动力学研究主要集中在系统的模态问题上，缺乏对掩模台受到

    振动干扰时的结构动态响应分析和优化的研究。

    针对以上问题，本文首先分析了步进式光刻机掩模台的结构组成，并探究

    了各个结构在系统中的作用。根据分析结果建立了掩模台理论动力学模型，并

    在此基础上推导了掩模台的理论动

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