从ITO薄膜到ITO_Au复合结构：制备工艺与光电特性的深度剖析.docx

从ITO薄膜到ITO/Au复合结构：制备工艺与光电特性的深度剖析

一、引言

1.1研究背景与意义

在现代科技迅猛发展的浪潮中，透明导电氧化物（TransparentConductingOxides，TCO）凭借其独特的高导电性与高透光性，成为众多光电器件不可或缺的关键材料，在信息显示、能源转换与存储、传感器等领域发挥着举足轻重的作用。从日常使用的智能手机、平板电脑的触摸屏，到太阳能电池、有机发光二极管显示器，再到气体传感器等，透明导电氧化物的身影无处不在，其性能的优劣直接影响着这些光电器件的功能与性能表现。

铟锡氧化物（IndiumTinOxide，ITO）薄膜作为透明导电氧化物的典