电容式微机械加速度计处理电路：原理、设计与应用的深度剖析.docx

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2025-09-16 发布于上海
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电容式微机械加速度计处理电路：原理、设计与应用的深度剖析

一、引言

1.1研究背景与意义

在现代科技飞速发展的背景下，传感器技术作为获取信息的关键手段，已成为众多领域不可或缺的组成部分。电容式微机械加速度计作为一种重要的惯性传感器，基于微机电系统（MEMS）技术，通过检测质量块在加速度作用下产生的位移导致的电容变化来测量加速度。凭借其体积小、重量轻、功耗低、灵敏度高以及易于集成等显著优势，在惯性导航、汽车电子、消费电子、生物医学、航空航天等众多领域展现出广泛且重要的应用前景。

在惯性导航领域，高精度的电容式微机械加速度计是实现精确导航的核心部件之一。无论是航空飞行器在复杂气象条件下的精准飞行