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GaAs微探尖选择液相外延制备技术：原理、工艺与应用探索

一、引言

1.1研究背景与意义

随着科技的迅猛发展，对微观世界的探索需求日益增长，扫描近场光学显微镜（SNOM）、原子力显微镜（AFM）等设备在纳米科学研究、材料表征、生物医学检测等领域发挥着至关重要的作用。这些设备的核心部件——微探尖，其性能直接影响着设备的分辨率、灵敏度和检测精度，因此制备高质量、高性能的微探尖成为了相关领域的研究热点。

GaAs（砷化镓）作为一种重要的半导体材料，具有优异的电学、光学和热学性能，使其在微探尖制备领域展现出独特的优势。GaAs微探尖具有良好的导电性和载流子迁移率，能够实现快速的电子传输，