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MEMS电容式微加速度计检测电路：原理、设计与应用的深度剖析

一、引言

1.1研究背景与意义

在现代科技飞速发展的进程中，微电子机械系统（MEMS）技术作为多学科交叉融合的前沿领域，正深刻改变着人们的生活和众多产业的发展格局。MEMS电容式微加速度计作为MEMS技术的典型代表产品，凭借其体积小、重量轻、成本低、功耗小、灵敏度较高、易于集成等显著优势，在航空航天、汽车工业、消费电子、生物医疗等众多领域得到了极为广泛的应用。

在航空航天领域，精确的加速度测量对于飞行器的导航、姿态控制以及轨道监测等至关重要。MEMS电容式微加速度计能够实时、准确地感知飞行器在飞行过程中的加速度变化，为飞行