半导体厂务系统介绍.docx

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专业资料整理

CleanroomSystem[洁净室系统]

a,内装修工程:(高架地板工程、洁净室隔墙板系统、铝合金龙骨吊顶/ceilinggrid、无

尘涂装、环氧地坪等)、压差控制系统、ESD防静电等;

b,循环空调系统:(包括部分供热与通风系统,比如MAU/OAC、AHU、FFU、DDC、

FCU、粗、中、高、超高过滤器、化学过滤器etc.、送气风机、排气风机etc.);

c,FOUNDATION:防震机座、粉尘监测智能系统/DMS系统、风淋室、传递窗、层流罩、洁

净工作台、洁净洗手器、洁净衣架、洁净电梯、正压洁净楼梯间系统、化学品储存冷库和

压缩机etc.

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