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半导体特气二次配配管流程

特种气体管道工程是指气体所有配管的工程，应包括气体储存设备、分配管道系统、工艺设备各尾气处理系统的管道以及管件、阀门、过滤器、减压装置、压力释放装置、压力表（传感器）等部件。二次配管HOOK-UP工程是指气体从管道起，通过气体分配柜（VMB）、气体混配柜，将气体送达到各台用气的设备仪器上的这一整套工程。

一、特种气体管道工程构成：

主要包括管道本体工程、管道防护结构工程、管道穿跨越工程、线路附属工程等。其中管道防护结构工程包括管道防腐，管道保温层等工程，管道穿跨越工程包括穿路或走廊时的预埋工程、搭桥架工程，线路附属工程包括支线或预留线的管道阀门设施、紧急截断阀门装置、