JEM-1400操作维护方法及事项.pdfVIP

JEM-1400操作方法

一、日常使用

1.准备试样

a)装试样入HOLDER(样品台)，检查双O-RING。放HOLDER入测角台，开

始预抽真空；

b)将MONITOR调到真空图的页面，便于确认真空系统动作顺序；

注意事项：

插拔样品时一定要！以免损坏样品、样品台

HOLDER测角台前，用HOLDER适当部位敲击手掌数次较好

2.升高压

a)确认高压READY；

b)HT设定为40KV，HTON；

c)自动升高压，升压快慢自己掌握，以稳定、安全为基准；

d)确认暗电流正常。

3.（开Beam）

a)确认离子泵(SIP)和样品台预抽室的真空(绿灯亮否？)，将HOLDER

放入镜筒中；

b)确认