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基于氧化物的异质结器件：制备工艺、特性分析与应用前景

一、引言

1.1研究背景与意义

在材料科学与电子器件的不断演进历程中，氧化物异质结器件正逐步崭露头角，成为学界与产业界共同瞩目的焦点。氧化物材料凭借其卓越的化学稳定性、热稳定性以及光稳定性，在众多领域展现出独特的优势与潜力，成为了材料研究领域的热点之一。随着半导体工艺技术的迅猛发展，氧化物异质结器件作为一种新型器件，也引发了广泛的关注。这种器件不仅具备高速性、高可靠性等显著优点，还拥有强大的电子学效应，能够在不同工作状态下呈现出多样化的特性。

在电子器件领域，随着摩尔定律逐渐逼近物理极限，传统半导体器件在性能提升上面临着诸多瓶颈。而氧化