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电子真空镀膜工协作考核试卷及答案

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电子真空镀膜工协作考核试卷及答案

考生姓名：答题日期：判卷人：得分：

题型

单项选择题

多选题

填空题

判断题

主观题

案例题

得分

本次考核旨在评估学员对电子真空镀膜工实际操作技能的掌握程度，检验其在理论知识、设备操作、镀膜工艺流程及质量控制等方面的综合能力。

一、单项选择题（本题共30小题，每小题0.5分，共15分，在每小题给出的四个选项中，只有一项是符合题目要求的）

1.电子真空镀膜技术中，用于加热蒸发源的加热方式是（）。

A.电热加热

B.真空加热

C.红外加热

D.激光加热

2.真空镀膜过程中，用于抽除系统中的气体和杂质的是（）。

A.真空泵

B.真空计

C.真空阀

D.真空罩

3.在真空镀膜中，为了防止膜层氧化，通常在蒸发源与阴极之间设置（）。

A.真空计

B.冷阴极

C.退火炉

D.防氧化层

4.真空镀膜时，为了提高膜层的均匀性，通常采用（）。

A.旋转阴极

B.定位装置

C.调整气压

D.调节电流

5.真空镀膜过程中，用于测量膜层厚度的工具是（）。

A.膜厚计

B.电子显微镜

C.显微镜

D.紫外-可见分光光度计

6.在电子真空镀膜中，用于防止膜层沾污的是（）。

A.阴极清洁剂

B.阳极清洁剂

C.真空泵油

D.真空计油

7.真空镀膜过程中，用于产生高能电子束的装置是（）。

A.电子枪

B.真空泵

C.真空计

D.真空阀

8.电子真空镀膜中，用于产生离子束的是（）。

A.离子源

B.真空泵

C.真空计

D.真空阀

9.真空镀膜过程中，用于提高膜层附着力的工艺是（）。

A.化学气相沉积

B.真空蒸发

C.离子束辅助沉积

D.溶剂法

10.在电子真空镀膜中，用于保护蒸发源的是（）。

A.防氧化层

B.阴极清洁剂

C.阳极清洁剂

D.真空泵油

11.真空镀膜过程中，用于测量真空度的工具是（）。

A.膜厚计

B.电子显微镜

C.真空计

D.显微镜

12.电子真空镀膜中，用于调整膜层厚度的是（）。

A.真空度

B.蒸发速率

C.离子束能量

D.蒸发源温度

13.真空镀膜过程中，用于防止膜层裂纹的是（）。

A.退火工艺

B.真空度

C.蒸发速率

D.离子束能量

14.电子真空镀膜中，用于控制膜层均匀性的工艺是（）。

A.旋转阴极

B.定位装置

C.调整气压

D.调节电流

15.真空镀膜过程中，用于测量膜层折射率的工具是（）。

A.膜厚计

B.电子显微镜

C.折射率仪

D.显微镜

16.在电子真空镀膜中，用于产生辉光放电的是（）。

A.离子源

B.真空泵

C.真空计

D.真空阀

17.真空镀膜过程中，用于提高膜层耐磨性的工艺是（）。

A.化学气相沉积

B.真空蒸发

C.离子束辅助沉积

D.溶剂法

18.电子真空镀膜中，用于产生高能离子束的是（）。

A.离子源

B.真空泵

C.真空计

D.真空阀

19.真空镀膜过程中，用于防止膜层脱落的工艺是（）。

A.化学气相沉积

B.真空蒸发

C.离子束辅助沉积

D.溶剂法

20.在电子真空镀膜中，用于调整膜层硬度的工艺是（）。

A.退火工艺

B.真空度

C.蒸发速率

D.离子束能量

21.真空镀膜过程中，用于提高膜层导电性的工艺是（）。

A.化学气相沉积

B.真空蒸发

C.离子束辅助沉积

D.溶剂法

22.电子真空镀膜中，用于产生辉光放电的是（）。

A.离子源

B.真空泵

C.真空计

D.真空阀

23.真空镀膜过程中，用于防止膜层氧化的是（）。

A.防氧化层

B.退火工艺

C.调整气压

D.调节电流

24.在电子真空镀膜中，用于产生高能电子束的装置是（）。

A.电子枪

B.真空泵

C.真空计

D.真空阀

25.真空镀膜过程中，用于测量膜层硬度的工具是（）。

A.膜厚计

B.电子显微镜

C.硬度计

D.显微镜

26.电子真空镀膜中，用于调整膜层折射率的工艺是（）。

A.化学气相沉积

B.真空蒸发

C.离子束辅助沉积

D.溶剂法

27.真空镀膜过程中，用于防止膜层裂纹的是（）。

A.退火工艺

B.真空度

C.蒸发速率

D.离子束能量

28.在电子真空镀膜中，用于产生辉光放电的是（）。

A.离子源

B.