原创力文档- 1、原创力文档（book118）网站文档一经付费（服务费），不意味着购买了该文档的版权，仅供个人/单位学习、研究之用，不得用于商业用途，未经授权，严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等，侵权必究。。
- 2、本站所有内容均由合作方或网友上传，本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺！文档内容仅供研究参考，付费前请自行鉴别。如您付费，意味着您自己接受本站规则且自行承担风险，本站不退款、不进行额外附加服务；查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档，您可以点击 这里二次下载。
- 3、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等，请点击“版权申诉”（推荐），也可以打举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
- 4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
- 5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次， 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
电子与封装
第24卷，第3期总第251期
Vol.24,No.3ELECTRONICSPACKAGING2024年3月
艺
OLED掩模版Mura缺陷分析与改善
束名扬，张玉星，袁卓颖
（中国电子科技集团公司第五十五研究所，南京211000)
摘要：Mura缺陷管控作为关键技术指标直接决定着OLED器件的显示画质与良品率。针对OLED
掩模版生产过程中发生的Mura缺陷，通过Mura不良分析发现这种缺陷与阵列像素单元邻近辅助图
形有关，并在显影工艺后表现出阵列像素单元关键尺寸（CD）不均匀与宏观色差。依据显影工艺分
析，基于旋喷式显影模式提出了一种分步显影方案，实验测试分析了显影液流速、旋转速度、纯水
流速以及纯水/显影液过渡时间等工艺参数对Mura缺陷的影响。通过优化显影工艺，实现阵列像素
单元CD不均匀性优于120nm，阵列像素单元边缘Mura不良区域由大于3%降低至无视觉可见
Mura，结果表明该工艺方案可以显著改善Mura缺陷。
关键词：Mura；OLED；掩模版；显影
中图分类号：TP389文献标志码：A文章编号：1681-1070（2024）03-030401
D0I:10.16257/ki.1681-1070.2024.0033
中文引用格式：束名扬，张玉星，袁卓颖.OLED掩模版Mura缺陷分析与改善[].电子与封装，2024,24（3)：
030401.
英文引用格式:SHUMingyang,ZHANGYuxing,YUANZhuoying.AnalysisandimprovementoftheMuradefectin
OLEDmask[J].ElectronicsPackaging,2024,24(3):030401.
AnalysisandImprovementoftheMuraDefectinOLEDMask
SHUMingyang,ZHANGYuxing,YUANZhuoying
(ChinaElectronicsTechnologyGroupCorporationNo.55ResearchInstitute,Nanjing211000,China)
Abstract:Asakeytechnicalindex,MuradefectcontroldeterminesthedisplayqualityandtheyieldofOLED
devicesdirectly.FortheMuradefectsoccurringintheproductionprocessofOLEDmask,itisfoundthatsuch
defectsarerelatedtotheadjacentauxiliarygraphicsofarraypixelunitsthroughMuradefectanalysis,and
exhibitunevenarraypixelunitcriticaldimensional(CD)andmacrocolordifferenceafterthedeveloping
process.Accordingtotheanalysisofdevelopingprocess,astepbystepdevelopingschemeisproposedbased
ontherotaryspraydevelopingmode,andexperimentalt
您可能关注的文档
最近下载
初级会计持证人
专注于经营管理类文案的拟写、润色等，本人已有10余年相关工作经验，具有扎实的文案功底，尤善于各种框架类PPT文案，并收集有数百万份各层级、各领域规范类文件。欢迎大家咨询！
文档评论（0）