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二、镀膜：1、开门：在功能键盘中按下“VACUUMSELECT”键，再按下“VENT”键，真空室开始充气，待充气完毕后将真空室门锁由垂直方向顺时针转动30°左右并拉动真空室门手柄打开真空室门。2、处理真空室：1、FBM01控制盒的使用：开门后可用FBM01控制盒可控制：档板的开启、坩埚、及工件架的旋转。（对应关系请参见附注）2、清扫真空室：打开挡板，用铜丝刷、吸尘器、三角刮刀清洁电子枪（主要是坩埚）、挡板。装填膜料：按FBM01控制盒上的“ROTATIONCRUCIBLE”键转动坩埚，注意LEYCOMⅣ上显示的坩埚位置，参照下表在坩埚内加入对应的膜料，3、确定执行程序号：按参数键中“SETP.”+“8”，显示出“PROCESSSELSECTIONAUTOMATICMODE”页，查看“PROCESSNo”项执行程序号，按“↓”键可将光标移该栏，输入程序编号，按“ENTER”确认，再按“HOME”使光标回到首行。4、检查晶控片寿命值：按参数键中“ACT”+“8”，检查第二通道的“XTALLIFETIME”栏的值，若小于92%，则更换晶片，真空室中间位置的晶片夹，更换方法如同HVC1050或HVC1200机。新晶片的寿命值应≥98%。5、必要时应检查程序的工艺数据：按功能键“SETP”+“7”，再按程序编号数，按“ENTER”可显示要执行程序的工艺数据，与工艺文件的数据对照，无误，可往下执行。否则，由主管工艺员检查或修正。第30页，共56页，星期日，2025年，2月5日6、关门执行程序：在完成了2-5项工作后，将真空室门关上，并将手把顺时针方向转至缺口位置。将主屏下排图标左边第一方格显示“AUTO”或“START”并按其下方的按键，即可进入自动控制状态。若主屏下排图标左边第一方格未显示“AUTO”或“START”，则按右边第一个键“RET”或“ABOUT”换屏。7、待加热到达预设温度进入恒温状态时，打开离子源进气开关（开关向右拔）；调节流量控制器使进气量控制在20sccm；8、关门执行程序：在完成了2-5项工作后，将真空室门关上，并将手把顺时针方向转至缺口位置。将主屏下排图标左边第一方格显示“AUTO”或“START”并按其下方的按键，即可进入自动控制状态。若主屏下排图标左边第一方格未显示“AUTO”或“START”，则按右边第一个键“RET”或“ABOUT”换屏。9、待加热到达预设温度进入恒温状态时，打开离子源进气开关（开关向右拔）；调节流量控制器使进气量控制在20sccm；第31页，共56页，星期日，2025年，2月5日三、镀膜过程监视：1、参数键区“ACT”+“0”，显示真空泵及各真空阀门的工作情况；2、参数键区“ACT”+“1”，绿线显示真空室真空度，红线显示真空室温度；3、参数键区“ACT”+“3”，绿线显示蒸镀速率，红线显示蒸镀功率；主显示屏首行显示内容：（见附件中对照表）开机初始至高阀打开，可显示真空泵及各真空阀门的工作情况。高阀打开至开始蒸镀，可显示真空室真空度及显示真空室温度。开始蒸镀至蒸镀完毕，可显示蒸镀速率及蒸镀功率。蒸镀完毕至开门，可显示真空泵及各真空阀门的工作情况。四、关机：1、关门：将门关上，并将门锁顺时针方向旋转将门锁上，若前次是自动开门则可跳过2步；2、在功能键盘中按下“VACUUMSELECT”键，再按下“VENT”键使之消去黄色；3、真空室开始抽气，待高阀打开5分钟后，功能键盘中按下“VACUUMSELECT”键，出现“HIGH”键按下此键使之消去黄色，此时高阀关闭随后扩散泵关闭，机械泵、罗茨泵继续工作直至扩散泵油温降至100℃以下（扩散泵中温度计显示油温）自动停止工作；4、机械泵、罗茨泵停止后关冷冻机（POLYCOLD），先关压缩机开关，再关电源开关。(参见附图)5、按下红色制动钮，停机。再将此钮拉出，再关闭+K2控制柜最下的UPS电源开关（按住“○”键二秒钟）。6、关氧气瓶阀门。7、关电源箱总电源。8、关冷水机外部循环水。关气源。第32页，共56页，星期日，2025年，2月5日HVC1050A镀膜机操作手顺书一、开机1、打开电源箱总电源；2、打开冷水机外部循环水阀门；(先开出水，后开进水)3、打开气动气源阀门（或气泵电源）；4、按红色“CONTROLPOWER”按钮；5、按“IC/5”晶控仪白色“ON”按钮，打开晶控仪；6、待控制电脑自动完成启动；复合真空计工作正常，启动黄色“START”按钮，机组自动开启机械泵(RP)、罗茨泵(MBP)、扩散泵(DP1/DP2)，DP1/DP2灯闪烁，表示扩散泵处于加热中，DP1/DP2灯稳定时，表示扩散泵油温度到达，可以打开高