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半导体CMP抛光液超硬材料创新应用研究模板范文
一、半导体CMP抛光液超硬材料创新应用研究
1.1抛光液概述
1.2超硬材料种类及特性
1.3超硬材料创新应用研究
1.4研究成果及展望
二、超硬材料在CMP抛光液中的应用现状与挑战
2.1超硬材料在CMP抛光液中的应用现状
2.2超硬材料在CMP抛光液中的挑战
2.3超硬材料创新应用的研究方向
三、金刚石在CMP抛光液中的应用与挑战
3.1金刚石的性质与优势
3.2金刚石在CMP抛光液中的应用挑战
3.3金刚石创新应用的研究方向
四、立方氮化硼(c-BN)在CMP抛光液中的应用与挑战
4.1c-BN的性质与优势
4.2c
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