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半导体CMP抛光液超硬材料创新应用研究.docx

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    半导体CMP抛光液超硬材料创新应用研究模板范文

    一、半导体CMP抛光液超硬材料创新应用研究

    1.1抛光液概述

    1.2超硬材料种类及特性

    1.3超硬材料创新应用研究

    1.4研究成果及展望

    二、超硬材料在CMP抛光液中的应用现状与挑战

    2.1超硬材料在CMP抛光液中的应用现状

    2.2超硬材料在CMP抛光液中的挑战

    2.3超硬材料创新应用的研究方向

    三、金刚石在CMP抛光液中的应用与挑战

    3.1金刚石的性质与优势

    3.2金刚石在CMP抛光液中的应用挑战

    3.3金刚石创新应用的研究方向

    四、立方氮化硼（c-BN）在CMP抛光液中的应用与挑战

    4.1c-BN的性质与优势

    4.2c

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