微机电系统与生物芯片2讲课文档.pptVIP

微机电系统与生物芯片文档ppt第一页，共45页。

MEMS是指集微型传感器、微型执行器、信号处理和控制电路、接口电路、通信系统以及电源于一体的微型机电系统.MEMS概念非纯电路装置第二页，共45页。

一般意义上的系统集成芯片广义上的系统集成芯片电、光、声、热、磁力等外界信号的采集—各种传感器执行器、显示器等信息输入与模/数传输信息处理信息输出与数/模转换信息存储MEMS=广义上的SOC第三页，共45页。

机械部分传感执行控制部分电子学MEMS微电子学第四页，共45页。

MEMS技术的历史微系统是从微传感器发展而来的，已有几次突破性的进展70年代微机械压力传感器产品问世80年代末研制出硅静电微马达90年代喷墨打印头，硬盘读写头、硅加速度计和数字微镜器件等相继规模化生产充分展示了微系统技术及其微系统的巨大应用前景第五页，共45页。

MEMS特点微型化：MEMS器件体积小、重量轻、耗能低、惯性小、谐振频率高、响应时间短。以硅为主要材料，机械电器性能优良：硅的强度、硬度和杨氏模量与铁相当，密度类似铝，热传导率接近钼和钨。批量生产：可同时制造成百上千个微型机电装置或完整的MEMS集成化：可以把不同功能、不同敏