Trench DMOS器件：原理、特性、工艺设计与应用研究.docx

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2025-09-23 发布于上海
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TrenchDMOS器件：原理、特性、工艺设计与应用研究

一、引言

1.1研究背景与意义

在现代电子系统中，功率半导体器件扮演着不可或缺的角色，其性能直接影响着整个系统的效率、稳定性和可靠性。从日常使用的电子设备到工业生产中的大型电力系统，从新能源汽车的动力驱动到可再生能源发电的转换控制，功率半导体器件无处不在，是实现电能高效转换和精确控制的核心部件。随着科技的飞速发展和社会的不断进步，各领域对电子系统的性能要求日益提高，这也对功率半导体器件提出了更高的挑战。

TrenchDMOS（沟槽型双扩散金属氧化物半导体）器件作为功率半导体领域的重要成员，凭借其独特的结构和卓越的性能优势，在众多应