第四章 压电传感器.ppt

传感器与检测技术第1页，共36页，星期日，2025年，2月5日4.4压电式传感器4.4.1压电传感器的工作原理4.4.2等效电路与测量电路4.4.3压电式传感器的应用举例第2页，共36页，星期日，2025年，2月5日4.4.1压电传感器的工作原理当某些物质沿某一方向施加压力或拉力时，会产生变形，此时这种材料的两个表面将产生符号相反的电荷。当去掉外力后，它又重新回到不带电状态，此现象称为压电效应。这种机械能转变为电能的现象，称为“顺压电效应”。反之，在某些物质的极化方向上施加电场，它会产生机械变形，当去掉外加电场后，该物质的变形随之消失，这种将电能转变为机械能的现象，称为“逆压电效应”。也称为“电致伸缩效应”一、压电效应第3页，共36页，星期日，2025年，2月5日压电常数和表面电荷密度的计算q为压电元件表面的电荷密度（极化强度），单位：C/cm2；Q为电荷量，S为受作用力的表面的面积。d为压电常数，即晶体承受单位作用力时所产生的电荷量，单位：C/N；当受力方向和变形不同时，d也不同。i=1、2、3——为电荷平面法线方向，即x、y、z轴向；j=1、2、3、4、5、6——表示作用力的方向；σ为作用面上的应力，单位：N/cm2；F为作用力；S为受作用力的表面的面积。第4页，共36页，星期日，2025年，2月5日二、压电元件的坐标系表示法第5页，共36页，星期日，2025年，2月5日各平面的电荷密度：第6页，共36页，星期日，2025年，2月5日压电系数矩阵：石英晶体的压电系数矩阵：第7页，共36页，星期日，2025年，2月5日其它压电常数：3.机电耦合系数K1.压电常数g2.压电常数h第8页，共36页，星期日，2025年，2月5日三、石英晶体的压电效应1.石英晶体在晶体学中，可以把将其用三根互相垂直的轴表示，其中，纵轴Z称为光轴，通过六棱线而垂直于光铀的X铀称为电轴，与X-X轴和Z-Z轴垂直的Y-Y轴(垂直于六棱柱体的棱面)称为机械轴。第9页，共36页，星期日，2025年，2月5日2.压电效应（1）纵向压电效应在电轴方向施加作用力时，在与电轴垂直的平面上将产生电荷。电荷密度：压电式传感器主要是利用纵向压电效应。第10页，共36页，星期日，2025年，2月5日（2）横向压电效应在机械（Y）轴向力作用下，引起的压电效应。因为电荷密度（极化强度）所以第11页，共36页，星期日，2025年，2月5日3.特点： 石英晶体是一种天然晶体，它的压电系数为d11=2.31×10-12C/N。莫氏硬度为7，熔点为1750℃，膨胀系数仅为钢的1/130。 作为常用的压电传感器具有转换效率和转换精度高、线性范围宽、重复性好、固有频率高、动态特性好、工作温度高达550℃（压电系数不随温度而该改变）、工作湿度高达100%等优点，它的稳定性是其他压电材料无法比拟的。第12页，共36页，星期日，2025年，2月5日四、压电陶瓷的压电效应1.压电陶瓷的极化特性第13页，共36页，星期日，2025年，2月5日2.压电陶瓷的压电效应第14页，共36页，星期日，2025年，2月5日3.压电陶瓷的特点压电系数大，灵敏度高，成本低。缺点：居里点低，温度稳定性、机械强度不如石英晶体。第15页，共36页，星期日，2025年，2月5日4.4.2等效电路与测量电路一、等效电路 两极板间的电压为只有在外电路负载RL无穷大，内部也无漏电时，受力所产生的电压U才能长期保存下来，如果负载RL不是无穷大，则电路就要以时间常数RLCa按指数规律放电。第16页，共36页，星期日，2025年，2月5日①当需要压电元件输出电荷时，可以把压电元件等效为一个电荷源与一个电容相并联的电荷等效电路。在开路状态，其输出端电荷为：②当需要压电元件输出电压时，可以把压电元件等效为一个电压源与一个电容相串联的电压等效电路。在开路状态，其输出端电压为：第17页，共36页，星期日，2025年，2月5日4.4.2等效电路与测量电路1、压电传感器等效电路第18页，共36页，星期日，2025年，2月5日2、压电式传感器测试系统等效电路压电元件的输出信号非常微弱，一般要把其输出信号通过电缆送入前置放大器放大，这样在等效电路中就必须考虑前置放大器的输入电阻、输入电容、电缆电容以及传感器的泄漏电阻（绝缘电阻）。第19页，共36页，星期日，2025年