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离子注入工工艺考核试卷及答案

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离子注入工工艺考核试卷及答案

考生姓名：答题日期：判卷人：得分：

题型

单项选择题

多选题

填空题

判断题

主观题

案例题

得分

本次考核旨在检验学员对离子注入工艺的理解和掌握程度，包括工艺流程、设备操作、参数调整及质量控制等方面，确保学员具备实际操作能力，满足行业实际需求。

一、单项选择题（本题共30小题，每小题0.5分，共15分，在每小题给出的四个选项中，只有一项是符合题目要求的）

1.离子注入工艺中，用于产生离子的设备是（）。

A.离子源

B.真空系统

C.注入枪

D.溅射器

2.离子注入过程中，用于加速离子的设备是（）。

A.离子源

B.真空系统

C.注入枪

D.加速器

3.离子注入工艺中，用于控制离子束流方向的设备是（）。

A.离子源

B.真空系统

C.注入枪

D.电磁场控制器

4.离子注入工艺中，用于调节离子能量大小的设备是（）。

A.离子源

B.真空系统

C.注入枪

D.能量控制器

5.离子注入工艺中，用于检测离子束流强度的设备是（）。

A.离子源

B.真空系统

C.注入枪

D.流量计

6.离子注入工艺中，用于确保离子注入均匀性的设备是（）。

A.离子源

B.真空系统

C.注入枪

D.均匀性控制器

7.离子注入过程中，用于保护样品的设备是（）。

A.离子源

B.真空系统

C.注入枪

D.保护装置

8.离子注入工艺中，用于监测真空度的设备是（）。

A.离子源

B.真空系统

C.注入枪

D.真空计

9.离子注入工艺中，用于控制样品温度的设备是（）。

A.离子源

B.真空系统

C.注入枪

D.温度控制器

10.离子注入工艺中，用于测量离子束偏转的设备是（）。

A.离子源

B.真空系统

C.注入枪

D.偏转计

11.离子注入工艺中，用于检测离子束能量分布的设备是（）。

A.离子源

B.真空系统

C.注入枪

D.能量分布计

12.离子注入工艺中，用于调整离子束流密度的设备是（）。

A.离子源

B.真空系统

C.注入枪

D.密度控制器

13.离子注入工艺中，用于控制离子束流时间的设备是（）。

A.离子源

B.真空系统

C.注入枪

D.时间控制器

14.离子注入工艺中，用于检测离子束流轨迹的设备是（）。

A.离子源

B.真空系统

C.注入枪

D.轨迹检测仪

15.离子注入工艺中，用于调整离子束流角度的设备是（）。

A.离子源

B.真空系统

C.注入枪

D.角度控制器

16.离子注入工艺中，用于检测离子束流束斑大小的设备是（）。

A.离子源

B.真空系统

C.注入枪

D.束斑检测仪

17.离子注入工艺中，用于控制离子束流速度的设备是（）。

A.离子源

B.真空系统

C.注入枪

D.速度控制器

18.离子注入工艺中，用于检测离子束流聚焦度的设备是（）。

A.离子源

B.真空系统

C.注入枪

D.聚焦度检测仪

19.离子注入工艺中，用于调整离子束流脉冲宽度的设备是（）。

A.离子源

B.真空系统

C.注入枪

D.脉冲宽度控制器

20.离子注入工艺中，用于检测离子束流脉冲频率的设备是（）。

A.离子源

B.真空系统

C.注入枪

D.频率检测仪

21.离子注入工艺中，用于调整离子束流束斑形状的设备是（）。

A.离子源

B.真空系统

C.注入枪

D.形状控制器

22.离子注入工艺中，用于检测离子束流束斑稳定性的设备是（）。

A.离子源

B.真空系统

C.注入枪

D.稳定性检测仪

23.离子注入工艺中，用于调整离子束流束斑尺寸的设备是（）。

A.离子源

B.真空系统

C.注入枪

D.尺寸控制器

24.离子注入工艺中，用于检测离子束流束斑位置的设备是（）。

A.离子源

B.真空系统

C.注入枪

D.位置检测仪

25.离子注入工艺中，用于调整离子束流束斑方向的设备是（）。

A.离子源

B.真空系统

C.注入枪

D.方向控制器

26.离子注入工艺中，用于检测离子束流束斑亮度的设备是（）。

A.离子源

B.真空系统

C.注入枪

D.亮度检测仪

27.离子注入工艺中，用于调整离子束流束斑亮度的设备是（）。

A.离子源

B.真空系统

C.注入枪

D.亮度控制器

28.离子