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市美精微光电
大面积高精度磁控溅射匀胶铬版
产品研制技术
前言：
本适用于产品研制过程中，为制定工艺规范和文件的根据，随着研
制过程的完成以及用户的信息反馈，本将不断完善和成熟。
一、铬版生产的工艺流程
3mm浮法玻璃——切割——边加工（磨边、倒棱、倒角）————初检——抛
光——中检（合格）————镀膜————膜检——合格——
——甩胶（合格）——终检——包装
附注：（1）抛光中检不合格者返工重新抛光
（2）膜检不合格则退膜重新、镀膜
（3）甩胶不合格则再去胶、甩胶
二、技术
（一）玻璃类别：浮法绿玻璃（3mm或5mm）
（二）绿玻璃的典型特征：
1.热膨胀系数（a50-200℃×10-7）：94
2.退火点(℃)542
3.折射率(nd)1.52
4.重量损耗(%)(去离子水,100℃,1h)0.050
5.重量损耗(%)(1/100N,HNO2,100℃,1h)0.028
2
6.重量损耗(mg/cm)(5%NaoH,80℃,1h)0.13
7.比重2.50
ShenzhenMeijingweiOptoelectronicsCo.,
Ltd.
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