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中国半导体设备国产化率2025年提升路径与产业技术创新研究参考模板
一、中国半导体设备国产化率2025年提升路径与产业技术创新研究
1.1提升路径
1.1.1加大政策支持力度
1.1.2完善产业链布局
1.1.3优化市场环境
1.1.4培养专业人才
1.2产业技术创新
1.2.1技术创新
1.2.2工艺创新
1.2.3材料创新
1.2.4服务创新
二、半导体设备国产化率提升的关键技术突破
2.1光刻设备技术突破
2.1.1提高光源技术
2.1.2提升光刻机性能
2.1.3优化光刻胶技术
2.2刻蚀设备技术突破
2.2.1提高刻蚀精度
2.2.2优化刻蚀工艺
2
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