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2024年氮化硅基板生产企业报告
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2024年1月
公众号·艾邦陶瓷展
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一、什么是氮化硅
公众号·艾邦陶瓷展
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氮化硅(Siliconnitride),分子式：Si3N4,属于六方晶系，有α、β和Y三种晶相,其中α相和β相是Si3N4最常见的形态，均为六方结构，可在常压下制备。研究者根据Si3N4的结构提出β-Si3N4的理论热导率高达200～320W/m·K。
●Si●N
Sisi。N
α-Si?N?
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