碳化硅单晶片微管密度测试方法标准立项研究报告.docx

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碳化硅单晶片微管密度测试方法标准立项研究报告

EnglishTitle:

ResearchReportontheStandardizationofMicropipeDensityTestingMethodsforSiliconCarbideMonocrystallineWafers

摘要

碳化硅作为第三代宽禁带半导体材料的代表,因其优异的热导率、高临界击穿场强以及出色的高温、高频和低功耗特性,被广泛应用于新能源汽车、光伏发电、工业控制等领域,显著提升了电力电子设备的电能管理效率。随着《新材料产业发展指南》和《重点新材料首批次应用示范指导目录(2019年版)》等国家

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