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先进制造技术
电子束离子束加工第六章
CONTENTS目录电子束加工EBM1离子束加工IBM2
电子束加工原理和特点
一电子束加工原理和特点
（一）原理利用高速电子的冲击动能来加工工件。真空聚焦高速冲击动能转热能
（二）特点1微细加工2加工材料的范围广3能量密度高，加工生产率很高4便于实现自动化
（二）特点5污染少，加工表面不易被氧化。6需要整套专用设备和真空系统。
二电子束加工设备
偏转线圈电磁透镜光阑加速阳极发射电子阴极控制栅极光学观察系统真空室门工件
三电子束加工的应用
（一）高速打孔（二）刻蚀（三）焊接（四）热处理
一离子束加工原理、分类、特点
（一）原理它是靠微观的机械撞
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