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三维微结构高频动态测试：方法、系统与前沿探索

一、引言

1.1研究背景与意义

在科技飞速发展的当下，微纳材料与器件凭借其独特的性能和广阔的应用前景，成为众多领域研究的焦点。微纳材料是指尺寸在微米（10^{-6}m）和纳米（10^{-9}m）量级的材料，由于其微小的尺寸，展现出与宏观材料截然不同的特性，如小尺寸效应、表面效应和量子尺寸效应等。这些特性赋予了微纳材料许多独特的性能，使其在半导体、电子、显示、光热、功能材料等领域得到了广泛应用。

随着微纳加工技术的不断进步，三维微结构在材料研究、电子器件、光学器件、生物医疗等领域的应用日益广泛。三维微结构指的是具有复杂形状、高精度和微米尺度的金属