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单晶炉技能考试题及答案

单项选择题（每题2分，共10题）

1.单晶炉的核心部件是？

A.炉体B.加热系统C.提拉机构D.籽晶杆

2.拉制单晶时，温度控制主要靠？

A.热电偶B.加热电源C.保温材料D.冷却水

3.籽晶安装在？

A.炉顶B.炉底C.提拉机构上D.加热系统旁

4.单晶炉内的气体环境一般是？

A.空气B.氢气C.氮气D.氧气

5.拉晶过程中，提拉速度与什么有关？

A.晶体直径B.温度C.埚位D.以上都是

6.单晶炉的埚位调整是为了？

A.保持晶体形状B.控制温度C.防止沾埚D.以上都是

7.加热系统的功率一般？

A.固定不变B.可调节C.随时间减小D.随时间增大

8.拉制单晶时，转速一般？

A.固定B.逐渐加快C.逐渐减慢D.可调节

9.单晶炉的炉压控制靠？

A.进气阀门B.排气阀门C.压力传感器D.以上都是

10.晶体生长方向由什么决定？

A.籽晶方向B.埚位C.温度D.提拉速度

答案：1.C2.B3.C4.C5.D6.D7.B8.D9.D10.A

多项选择题（每题2分，共10题）

1.单晶炉常见的故障有？

A.加热故障B.提拉故障C.漏气D.籽晶熔断

2.拉晶前需要检查的项目有？

A.设备外观B.电气连接C.气体管道D.籽晶质量

3.影响单晶质量的因素有？

A.温度B.气体流量C.提拉速度D.埚位

4.单晶炉的维护保养包括？

A.定期清洁B.部件检查C.润滑D.校准

5.加热系统的组成部分有？

A.加热电源B.加热体C.热电偶D.控制柜

6.提拉机构的作用是？

A.带动籽晶B.控制提拉速度C.控制转速D.调整埚位

7.气体系统的作用是？

A.提供保护气氛B.调节炉压C.冷却D.传输杂质

8.拉晶过程中需要监测的参数有？

A.温度B.炉压C.提拉速度D.晶体直径

9.单晶炉的安全防护措施有？

A.设置防护门B.安装漏电保护C.配备灭火器D.高温警示

10.籽晶选择的要点有？

A.纯度高B.无缺陷C.尺寸合适D.形状规则

答案：1.ABCD2.ABCD3.ABCD4.ABCD5.ABCD6.AB7.AB8.ABCD9.ABCD10.ABCD

判断题（每题2分，共10题）

1.单晶炉可以在有杂质的环境下正常拉晶。（）

2.加热系统功率越大，拉晶速度越快。（）

3.籽晶安装后不需要再次检查。（）

4.拉晶过程中炉压越高越好。（）

5.提拉速度可以随意调整。（）

6.单晶炉的炉体不需要定期清理。（）

7.气体流量对单晶质量没有影响。（）

8.晶体生长过程中温度波动不影响质量。（）

9.拉晶结束后可以立即打开炉门。（）

10.单晶炉的所有参数都可以手动控制。（）

答案：1.×2.×3.×4.×5.×6.×7.×8.×9.×10.×

简答题（总4题，每题5分）

1.简述拉晶过程中温度控制的重要性。

温度影响晶体生长速率、质量和形状，合适温度确保原子有序排列，避免缺陷产生。

2.如何判断籽晶安装是否正确？

观察籽晶垂直于炉底，且固定牢固，无晃动，与提拉机构连接良好。

3.拉晶时气体流量异常如何处理？

检查气体管道是否堵塞、阀门是否正常，调整流量调节阀，若故障仍在检查气路系统。

4.单晶炉埚位过高或过低有什么影响？

过高易沾埚，过低晶体生长空间受限，影响晶体直径和形状。

讨论题（总4题，每题5分）

1.怎样提高单晶的纯度？

严格控制原料纯度，优化拉晶环境，如采用高纯度气体，精确控制温度等参数减少杂质引入。

2.拉晶过程中出现晶体开裂怎么办？

分析开裂原因，如温度骤变、应力等，调整拉晶参数，如降温速度，检查设备部件是否正常。

3.如何降低单晶炉的能耗？

合理设置加热功率，优化保温措施，提高设备运行效率，减少不必要的能量损耗。

4.单晶炉未来的发展趋势有哪些？

智能化控制，更高的拉晶效率和质量，更节能环保，适应新材料拉晶需求。