实施指南(2025)《GB_T14142-2017硅外延层晶体完整性检验方法腐蚀法》.pptx

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2025-09-28 发布于浙江
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实施指南(2025)《GB_T14142-2017硅外延层晶体完整性检验方法腐蚀法》.pptx

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《GB/T14142-2017硅外延层晶体完整性检验方法腐蚀法》(2025年)实施指南

目录一、标准溯源与核心定位：为何腐蚀法成硅外延层晶体完整性检验“金标准”？专家视角拆解GB/T14142-2017核心价值二、硅外延层晶体缺陷解析：哪些缺陷会影响器件性能？标准框架下的缺陷分类与形成机理深度剖析三、腐蚀法检验原理透视：化学反应如何“显影”晶体缺陷？GB/T14142-2017关键原理与技术逻辑全解读四、检验前准备实操指南：样品、试剂、设备如何达标？契合未来行业要求的标准化筹备方案详解五、腐蚀操作全流程控制：温度、时间、搅拌有何讲究？专家拆解标准中的关键工艺参数与控