柔性压容式压力传感器设计与性能研究.pdfVIP

摘要

柔性压力传感器在人机交互、电子皮肤和健康监测等领域具有广泛应用，其传

感机理主要可分为压阻式、压电式和压容式三类。其中，压容式传感器具有功耗低

和稳定性好的优点，但其制备工艺的拓展性、灵敏度性能、抗干扰性能、传感阵列

的灵敏度可定制性和测量单元的可穿戴性还有待提高。针对以上问题，本文以柔性

压容式压力传感器为研究对象，主要研究内容和创新点如下：

1.可拓展的介电层制备工艺。基于生物启发的“自下而上”的新型制备工艺，

制备得到了传感器的微结构介电层。与传统的微结构制备工艺相比，该工艺避免了

传统的模板尺寸对于介电层尺寸的限制，具有更强的拓展性。另外，利用该工艺

“自下而上”的优势，首次实现了介电层双面微结构的制备，有效降低了介电层硬

度，将压力传感灵敏度提升到5.8kPa-1，是基于传统工艺的传感器的2倍。

2.超高灵敏度压力传感。通过将离子凝胶材料的双电层机理与介电层微结构制

备工艺结合，得到了灵敏度为36kPa-1的基于双电层的压容式压力传感器，其灵敏

度是基于静电电容的压容式压力传感器的6倍。该传感器的实用价值在人机交互、

健康监测和盲文识别等应用中得到了验证。

3.抗拉伸应变干扰的可拉伸压力传感器。通过创新传感器结构与机理，并突破

了数项关键难点，包括具有优异弹性性能的氟橡胶离子凝胶、超低模量的可拉伸干

电极和微结构局部硬化技术，有效避免了器件的拉伸形变对压力传感的干扰，最终

实现了在50%应变范围内的98%的对应变不敏感度。和已报道的可拉伸压力传感器

相比，该器件的对拉伸不敏感度提升了50%，灵敏度提升了120%，最低检测限降

低了600%。基于该器件的优异性能，实现了首个基于软体机械手的抗拉伸应变干

扰的“驱动-传感”闭环反馈系统，并在触诊和脉搏监测等应用中完成了验证。

4.可定制灵敏度的压力传感器阵列及其可穿戴测量单元。通过传感器单元的多

层级结构设计与光学调控介电层硬度的技术，首次实现了灵敏度可光学定制的压力

传感器单元，并进一步得到了压力传感器阵列。传感单元的灵敏度调节范围为69倍

（1.5-104kPa-1），是已报道的相关工作的调节范围的12.5倍。另外，为了最终实现

包括传感器与检测单元的可穿戴压力监测系统，首次提出并实现了针对离子凝胶式

压力传感器的可穿戴电容测量单元，可实现对所有阵列单元的电容值扫描。该测量

单元的电容测量范围是商业化电容检测集成电路的100倍。该压力监测系统实现了

高精度的足底压力监测，具有较高临床应用价值。

本文针对压容式压力传感器现存的重要问题，分别在制备工艺、灵敏度性能、

抗干扰性能和压力传感器阵列及其可穿戴测量单元四个方面完成了系列研究，解决

了当前压容式压力传感器存在的部分关键问题，展示了其在实际应用中的潜在价值，

促进了柔性压力传感器的研究与应用。

关键词：压力传感器，柔性传感器，电子皮肤，触觉传感器，柔性

ABSTRACT

Flexiblepressuresensorsarewidelyusedinhuman-machineinteraction,electronicskin,

andhealthmonitoringapplications.Theirsensingmechanismscanbeclassifiedinto

piezoresistive,piezoelectric,andpiezocapacitive.Althoughthepiezocapacitivepressure

sensorshavetheadvantagesoflowpowerconsumptionandgoodstability,theirscalability

ofthefabricationtechnique,sensitivity,anti-interferenceperformance,sensitivity

definabilityofthesensorarray,andwearabilityofthemeasurementunitstillneedtobe

improved.Thispaperta