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太赫兹速调管——一种新型的微加工电真空器件.pdf

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    2005年12月第十三届全国电子束·离子束·光子束学术年会湖南·长沙

    太赫兹速调管

    种新型的微加工电真空器件

    王勇

    (中国科学院电子学研究所。北京toooao)

    摘要：人们早就认识到，如果将现有的速调管(一种微波电真空器件)缩尺到微米量级，就可以产

    生太赫兹(THz)辐射。然而．由于传统加工技术的限制，无法制造出微米量级的

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