相移显微干涉技术：解锁薄膜应力梯度测量的新视角.docx

相移显微干涉技术：解锁薄膜应力梯度测量的新视角

一、引言

1.1研究背景与意义

在现代科技飞速发展的进程中，薄膜材料凭借其独特的物理化学性质，在电子、光学、机械、航空航天等众多领域都得到了广泛应用。在电子领域，薄膜被用于制造集成电路、传感器等关键部件，对电子设备的小型化、高性能化起着重要作用；在光学领域，薄膜可用于制备光学镜片的增透膜、反射膜，以提高光学系统的性能；在航空航天领域，薄膜材料则被应用于飞行器的热防护系统、结构部件等，对减轻飞行器重量、提升飞行性能意义重大。

薄膜应力是影响薄膜性能的关键因素之一。当薄膜沉积在基底上时，由于薄膜与基底材料的热膨胀系数差异、原子排列方式不同以及薄膜生