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Fe、Co和Ni磁性薄膜磁弹各向异性的特性与调控机制研究

一、引言

1.1研究背景与意义

磁性薄膜作为一种重要的功能材料，在现代科技领域中占据着举足轻重的地位。随着电子信息技术的飞速发展，对磁性薄膜的性能要求也越来越高。从信息存储到传感器，从微波器件到能源转换，磁性薄膜的身影无处不在。在硬盘驱动器（HDD）和磁随机存取存储器（MRAM）等存储器件中，磁性薄膜是实现数据存储的核心材料，其高矫顽力和磁饱和感应强度保证了数据的稳定存储。而在传感器领域，磁性薄膜凭借其灵敏度高、响应速度快的特点，被广泛应用于磁场测量和检测，在航空航天、医疗、环保等领域发挥着重要作用。

磁各向异性作为磁性材料最基本和最重要的物理特性之一，对磁性薄膜的性能有着至关重要的影响。它决定了磁性薄膜在不同方向上的磁化难易程度，进而影响着磁性薄膜在各种应用中的表现。而在磁性材料的柔性化过程中，磁弹各向异性成为一个关键的研究因素。磁弹各向异性是指由于材料内部应力或应变的存在，导致磁各向异性发生变化的现象。这种现象在柔性磁电子器件中尤为重要，因为在柔性衬底上生长磁性薄膜时，不可避免地会引入应力或应变，从而影响磁性薄膜的磁性能。

Fe、Co和Ni作为经典的磁性元素，其磁性薄膜在众多领域都有广泛的应用。然而，目前对于这三种元素的磁性薄膜的磁弹各向异性的基本物理特性，还缺乏深入的实验研究。深入研究Fe、Co和Ni磁性薄膜的磁弹各向异性，不仅有助于我们更好地理解磁性材料的基本物理性质，还能为柔性磁电子器件的设计和制备提供重要的理论依据。通过掌握磁弹各向异性的规律，我们可以更加精确地调控磁性薄膜的磁性能，使其更好地满足不同应用场景的需求，推动柔性磁电子器件的发展和应用。

1.2国内外研究现状

在过去的几十年里，国内外众多科研团队对磁性薄膜的磁各向异性进行了广泛而深入的研究。在理论方面，研究者们通过建立各种模型，如微磁学模型、自旋波理论等，对磁各向异性的起源和机制进行了深入探讨，为实验研究提供了重要的理论指导。

在实验研究中，针对Fe、Co和Ni磁性薄膜，许多研究关注了它们在不同衬底上的生长特性以及磁性能。有研究利用分子束外延技术，在Si(111)衬底上外延生长不同厚度的Fe薄膜，通过磁光克尔转角测量和可变温的各向异性磁电阻输运测量，详细研究了铁磁薄膜的磁各向异性及其温度依赖性。也有研究以CoSi?为缓冲层在Si(100)衬底上外延生长Co薄膜，通过原位的扫描电镜和低能电子衍射对其形貌和结构进行表征，并研究了其磁各向异性。

对于磁弹各向异性，目前很多研究者通过对柔性Mica和聚对苯二甲酸乙二醇酯（PET）衬底的机械弯曲来研究生长在其衬底上的磁性薄膜的磁性变化。然而，对于Fe、Co和Ni这三种广泛应用的磁性元素的磁弹各向异性能够展现出什么样的基本物理特性，相关的实验研究还相对较少。现有的研究在磁弹各向异性的定量分析方面还存在不足，对于磁弹各向异性的应力系数等关键参数的精确测量和深入理解还需要进一步加强。而且，不同研究之间的结果也存在一定的差异，这可能与实验条件、制备方法等因素有关，需要进一步的系统研究来明确这些因素对磁弹各向异性的影响。

1.3研究内容与方法

本研究围绕Fe、Co和Ni磁性薄膜的磁弹各向异性展开，旨在深入探究其基本物理特性，从定性和定量两个方面进行全面研究。

在定性研究方面，利用磁控溅射镀膜的方法，在具有各向异性热膨胀的聚偏氟乙烯（PVDF）衬底上沉积Fe、Co和Ni磁性薄膜。通过将PVDF衬底温度降低过程中形成的单轴应力转移到磁性薄膜上，研究应力/应变对其磁性能的影响。通过测试不同应力下的归一化磁滞回线的变化，分析Fe、Co和Ni磁性薄膜的易磁化轴和难磁化轴的变化情况，以及剩磁比和矫顽力的变化规律，从而定性地了解它们的磁弹各向异性特性。

在定量研究方面，基于上述实验思路和方法，通过对各向异性磁阻（AMR）的测试，获得磁力矩和磁各向异性常数之间的关系。经过对其AMR曲线进行非线性曲线拟合，获得不同应力/应变环境下Fe、Co和Ni磁性薄膜的磁各向异性常数。进一步通过对不同应力/应变下的磁各向异性常数的线性拟合，定量计算出Fe、Co和Ni磁性薄膜的磁弹各向异性的应力系数，从而精确地描述它们的磁弹各向异性特性。

在实验过程中，采用磁控溅射镀膜技术来制备磁性薄膜，该技术具有制备速度快、薄膜质量高、可控性好等优点，能够精确控制薄膜的厚度和成分。利用振动样品磁强计（VSM）来测量磁性薄膜的磁滞回线，获取磁性能参数。通过各向异性磁阻测量系统来测试AMR曲线，为定量分析提供数据支持。在数据分析阶段，运用非线性曲线拟合和线性拟合等数学方法，对实验数据进行处